Detailed Information
Cited 0 time in 
Cited 0 time in 
Cited 0 time in
Metadata Downloads
플라즈마 노출시간 변화에 따른 SiNx 막의 패시베이션 및 광학적 특성
Full metadata record
| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | Kang Yoon Mook | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-28T07:50:34Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-28T07:50:34Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.date.issued | 2017-05-18 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/24101 | - |
| dc.publisher | 한국재료학회 | - |
| dc.title | 플라즈마 노출시간 변화에 따른 SiNx 막의 패시베이션 및 광학적 특성 | - |
| dc.title.alternative | 플라즈마 노출시간 변화에 따른 SiNx 막의 패시베이션 및 광학적 특성 | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | Kang Yoon Mook | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 한국재료학회 춘계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국재료학회 춘계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 한국재료학회 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.title | 한국재료학회 춘계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2017-05-17 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.