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널포인트 주사탐치열현미경을 이용한 SOI 기판 위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측
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| DC Field | Value | Language |
|---|---|---|
| dc.contributor.author | KWON, Oh Myoung | - |
| dc.date.accessioned | 2021-08-29T14:23:36Z | - |
| dc.date.available | 2021-08-29T14:23:36Z | - |
| dc.date.created | 2021-04-22 | - |
| dc.date.issued | 2013-12-20 | - |
| dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/42163 | - |
| dc.publisher | 대한기계학회 | - |
| dc.title | 널포인트 주사탐치열현미경을 이용한 SOI 기판 위의 전기적으로 가열된 나노 히터 주변 온도분포 정량적 계측 | - |
| dc.title.alternative | quantitative temperature profiling across the electrically heated nano-heater on silicon-on-insulator using null point scanning thermal microscopy | - |
| dc.type | Conference | - |
| dc.contributor.affiliatedAuthor | KWON, Oh Myoung | - |
| dc.identifier.bibliographicCitation | 대한기계학회 2013 마이크로/나노공학부문 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한기계학회 2013 마이크로/나노공학부문 추계학술대회 | - |
| dc.relation.isPartOf | 대한기계학회 2013 마이크로/나노공학부문 추계학술대회 논문집 | - |
| dc.citation.title | 대한기계학회 2013 마이크로/나노공학부문 추계학술대회 | - |
| dc.citation.conferencePlace | KO | - |
| dc.citation.conferencePlace | 강원도 | - |
| dc.citation.conferenceDate | 2013-12-19 | - |
| dc.type.rims | CONF | - |
| dc.description.journalClass | 2 | - |
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Collections - College of Engineering > Department of Mechanical Engineering > 2. Conference Papers
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