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College of Engineering
School of Industrial and Management Engineering
2. Conference Papers
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A Study of the CMP(Chemical Mechanical Process) Simulation using FEM(Finite Element Method) and the Run-to-Run Control Algorithm
Jun-Geol Baek
Conference
Issue Date
2009
Citation
AEC/APC Symposium Asia 2009
Publisher
ISMI
Place
JA; National Center of Sciences Building, Tokyo, Japan
Study of adaptive model predictive control algorithm for efficient control of semiconductor process
Jun-Geol Baek
Conference
Issue Date
2009
Citation
AEC/APC Symposium Asia 2009
Publisher
ISMI
Place
JA; National Center of Sciences Building, Tokyo, Japan
Study of adaptive model predictive control algorithm for efficient control of semiconductor process
KIM SUNG SHICK
Conference
Issue Date
2009
Citation
AEC/APC Symposium Asia 2009
Publisher
ISMI
Place
JA; National Center of Sciences Building, Tokyo, Japan
1
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저자/발명자/참여자
Baek, Jun Geol
2
KIM SUNG SHICK
1
발행년도
2009
3
자료유형
Conference
3
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