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Cu(dmamb)2 를 사용한 copper seed layer의 CVD 성장시 plasma 전처리의 영향에 관한 연구Cu(dmamb)2 를 사용한 copper seed layer의 CVD 성장시 plasma 전처리의 영향에 관한 연구
- Alternative Title
- Cu(dmamb)2 를 사용한 copper seed layer의 CVD 성장시 plasma 전처리의 영향에 관한 연구
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Issue Date
- 23-5월-2013
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2013년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 24 회 신소재 심포지엄
- Conference Name
- 2013년도 한국재료학회 춘계학술발표대회 및 제 24 회 신소재 심포지엄
- Place
- KO
- Conference Date
- 2013-05-22
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