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고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석
- Alternative Title
- 고굴절률 PECVD SiNx 박막의 성장 및 그 표면특성 분석
- Authors
- PARK, JUNG HO
- Issue Date
- 10-2월-2011
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 한국진공학회 제40회 정기 동계학술대회
- Conference Name
- 한국진공학회 제40회 정기 동계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2011-02-09
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
- Appears in
Collections - College of Engineering > School of Electrical Engineering > 2. Conference Papers
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