Detailed Information
Cited 0 time in 
Cited 0 time in 
Cited 0 time in
Metadata Downloads
PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
- Alternative Title
- PECVD 공정에 의해 제작된 SION박막 특성 분석
- Authors
- PARK, JUNG HO
- Issue Date
- 2-1월-2011
- Publisher
- 한국진공학회
- Citation
- 한국진공학회 제40회 정기 동계학술대회
- Conference Name
- 한국진공학회 제40회 정기 동계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2011-02-09
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
- Appears in
Collections - College of Engineering > School of Electrical Engineering > 2. Conference Papers
Items in ScholarWorks are protected by copyright, with all rights reserved, unless otherwise indicated.