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마이크로 거울의 구동을 위한 저전압 비틀림형 열구동기의 설계 및 제작
- Authors
- KWON, Oh Myoung
- Keywords
- Micromirror(마이크로 거울), Thermal Actuator(열 구동기), Twisting-Type(비틀림 형)
- Issue Date
- 29-5월-2009
- Publisher
- 대한기계학회
- Citation
- 2009년도 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회
- Conference Name
- 2009년도 대한기계학회 마이크로/나노공학부문 춘계학술대회
- Place
- KO
서울대학교
- Conference Date
- 2009-05-28
- Files in This Item
- There are no files associated with this item.
- Appears in
Collections - College of Engineering > Department of Mechanical Engineering > 2. Conference Papers
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