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ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
- Alternative Title
- ALD법을 이용한 ZnO박막 성장시 증착온도에 따른 박막의 구조적 특성변화
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Issue Date
- 2-11월-2007
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2007년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 13회 신소재 심포지엄
- Conference Name
- 2007년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 13회 신소재 심포지엄
- Place
- KO
- Conference Date
- 2007-11-02
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