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Cu(dmamb)2 전구체를 이용한 구리박막 제조 시 캐리어 가스가 박막성장에 미치는 영향
- Authors
- BYUN, Dong Jin
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 17회 신소재 심포지엄
- Conference Name
- 2009년도 한국재료학회 추계학술발표대회 및 제 17회 신소재 심포지엄
- Place
- KO
- Conference Date
- 2009-11-05
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