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전체 결과 2 건 중 1 - 2을(를) 표시 중입니다.
KCI
ICP Source를 이용한 저온 증착 a-SiNx:H 특성 평가
강성칠; 이동혁; 소현욱; 장진녕;
홍문표
;
권광호
Article
Issue Date
2011
Citation
전기전자재료학회논문지, v.24, no.7, pp.532 - 536
Publisher
한국전기전자재료학회
KCI
SF_6/Ar 유도결합플라즈마를 이용한 ZnO 박막의 식각 특성에 관한 연구
강성칠;
권광호
; 이윤찬; 이진수
Article
Issue Date
2011
Citation
전기전자재료학회논문지, v.24, no.12, pp.935 - 938
Publisher
한국전기전자재료학회
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