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KCI
Ar/Cl2 혼합가스를 이용한 Ba_2Ti_9O_20(BTO) 박막의 유도결합 플라즈마 식각
김용근; 이현우;
권광호
Article
Issue Date
2011
Citation
전기전자재료학회논문지, v.24, no.4, pp.276 - 279
Publisher
한국전기전자재료학회
KCI
나노임프린트 리소그래피 적용을 위한 CHF₃ 플라즈마를 이용한 실리콘 몰드 표면 처리 특성
김용근;
권광호
; 김재현; 유반석; 장지수
Article
Issue Date
2011
Citation
전기전자재료학회논문지, v.24, no.10, pp.790 - 793
Publisher
한국전기전자재료학회
KCI
유도결합형 BCl3/Ar 플라즈마를 이용한 Al2O3 박막의 식각 특성
김용근;
권광호
Article
Issue Date
2011
Citation
전기전자재료학회논문지, v.24, no.6, pp.445 - 448
Publisher
한국전기전자재료학회
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