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KCI
상온에서 RF 스퍼터링 방법으로 증착한 Hafnium Oxide 박막의 저항 변화 특성
한용;
김상식
; 조경아; 윤정권; 김기범; 김용상; 윤태식; 이현호; 최영진; 황현상
Article
Issue Date
2011
Citation
전기전자재료학회논문지, v.24, no.9, pp.710 - 712
Publisher
한국전기전자재료학회
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