질소 분극면을 갖는 N형 질화물반도체의 접촉저항 감소를 위한 산소 플라즈마 효과에 관한 연구
DC Field | Value | Language |
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dc.contributor.author | 남태양 | - |
dc.contributor.author | 김태근 | - |
dc.contributor.author | 최연식 | - |
dc.contributor.author | 김동호 | - |
dc.contributor.author | 이완호 | - |
dc.contributor.author | 김수진 | - |
dc.contributor.author | 이병규 | - |
dc.contributor.author | 조영창 | - |
dc.date.accessioned | 2021-09-08T09:35:31Z | - |
dc.date.available | 2021-09-08T09:35:31Z | - |
dc.date.created | 2021-06-16 | - |
dc.date.issued | 2010 | - |
dc.identifier.issn | 1225-8822 | - |
dc.identifier.uri | https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/118407 | - |
dc.description.abstract | 본 논문은 N-face n-type GaN 표면에 산소 플라즈마 처리에 의해서 오믹전극과 접촉 저항을 낮추기 위한 연구를 하였다. 120초 산소 플라즈마 처리후 Ti (50 nm) / Al (35 nm)을 증착한 결과 오믹 전극을 구현하였으며, 1.25×10-3 Ω㎠의 접촉저항을 보였다. 이는 산소 플라즈마 처리가 기존의 플라즈마 처리와 같이 질소결원이 발생하였기 때문이다. 이를 통해 쇼트키 장벽 높이(SBH)이 낮아지게 되었고, 오믹 전극및 플라즈마 처리를 안 한 경우보다 더 낮은 접촉저항의 결과를 획득하였다. | - |
dc.language | Korean | - |
dc.language.iso | ko | - |
dc.publisher | 한국진공학회 | - |
dc.title | 질소 분극면을 갖는 N형 질화물반도체의 접촉저항 감소를 위한 산소 플라즈마 효과에 관한 연구 | - |
dc.title.alternative | Study of Oxygen Plasma Effects to Reduce the Contact Resistance of n-type GaN with Nitrogen Polarity | - |
dc.type | Article | - |
dc.contributor.affiliatedAuthor | 김태근 | - |
dc.identifier.bibliographicCitation | Applied Science and Convergence Technology, v.19, no.1, pp.10 - 13 | - |
dc.relation.isPartOf | Applied Science and Convergence Technology | - |
dc.citation.title | Applied Science and Convergence Technology | - |
dc.citation.volume | 19 | - |
dc.citation.number | 1 | - |
dc.citation.startPage | 10 | - |
dc.citation.endPage | 13 | - |
dc.type.rims | ART | - |
dc.identifier.kciid | ART001416543 | - |
dc.description.journalClass | 2 | - |
dc.description.journalRegisteredClass | kci | - |
dc.subject.keywordAuthor | Vertical LED | - |
dc.subject.keywordAuthor | O2 Plasma treatment | - |
dc.subject.keywordAuthor | Ti / Al | - |
dc.subject.keywordAuthor | Ohmic contact | - |
dc.subject.keywordAuthor | 수직형 LED | - |
dc.subject.keywordAuthor | N-face n-type GaN | - |
dc.subject.keywordAuthor | 산소 플라즈마 처리 | - |
dc.subject.keywordAuthor | 질소결원 | - |
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