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유해가스 차단시스템용 MEMS 가스 센서MEMS based on nanoparticle gas sensor for air quality system
- Other Titles
- MEMS based on nanoparticle gas sensor for air quality system
- Issue Date
- 2009
- Publisher
- 한국전기전자학회
- Keywords
- MEMS; ZnO; SnO2; CO; NOx; MEMS; ZnO; SnO2; CO; NOx
- Citation
- 전기전자학회논문지, v.13, no.4, pp.37 - 42
- Indexed
- KCI
- Journal Title
- 전기전자학회논문지
- Volume
- 13
- Number
- 4
- Start Page
- 37
- End Page
- 42
- ISSN
- 1226-7244
- Abstract
- 본 연구에서는 졸겔법으로 ZnO, 수열합성법으로 SnO2 나노분말을 제조하고 이들 나노분말에 Pd, Ru 등의 촉매를 첨가하였다. MEMS 기술로 제작된 히터 및 전극 구조 위에 나노 감지 분말을 도포하여 CO and NO2 가스 센서를 제작하였다. 0.1 wt% Pd 도핑된 SnO2 가스센서와 Ru 도핑된 ZnO 가스 센서는 각각 CO 30 ppm, NO2 1 ppm의 낮은 농도에서도 높은 감지 특성을 보였다.
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