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플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교
- Alternative Title
- 플라즈마 증착법으로 증착한 나이트라이드 막의 내부 결합 밀도 비에 따른 수소 패시베이션 효과 비교
- Authors
- Kang Yoon Mook
- Issue Date
- 17-11월-2016
- Publisher
- 한국재료학회
- Citation
- 한국재료학회 추계학술대회
- Conference Name
- 한국재료학회 추계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2016-11-15
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