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마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발
- Alternative Title
- 마이크로 시스템의 3차원 형상 측정을 위한 진동 프로브 개발
- Authors
- Jaehwa Jeong
- Issue Date
- 15-5월-2014
- Publisher
- 한국정밀공학회
- Citation
- 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회
- Conference Name
- 한국정밀공학회 2014년도 춘계학술대회
- Place
- KO
- Conference Date
- 2014-05-14
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