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65-nm CMOS 300 GHz 영상 검출기 및 영상 획득A 300 GHz Imaging Detector and Image Acquisition Based on 65-nm CMOS Technology

Other Titles
A 300 GHz Imaging Detector and Image Acquisition Based on 65-nm CMOS Technology
Authors
윤대근송기룡이재성
Issue Date
2014
Publisher
한국전자파학회
Keywords
Detector; Imaging; CMOS
Citation
한국전자파학회 논문지, v.25, no.7, pp.791 - 793
Indexed
KCI
Journal Title
한국전자파학회 논문지
Volume
25
Number
7
Start Page
791
End Page
793
URI
https://scholar.korea.ac.kr/handle/2021.sw.korea/100534
DOI
10.5515/KJKIEES.2014.25.7.791
ISSN
1226-3133
Abstract
본 논문에서는 65-nm CMOS 공정을 이용하여 300 GHz 주파수 대역의 영상 검출기를 제작하고, 이에 기반하여 영상을 획득하였다. 검출기 회로 구조는 square-law 동작에 기초를 두고 있다. 제작된 검출기는 285 GHz에서 2,270 V/W의 최대 반응도(responsivity)와 38 pW/Hz1/2의 최소 NEP(Noise Equivalent Power)를 보였으며, 250~305 GHz의 범위에서 NEP<~200 pW/Hz1/2를 보였다. 측정용 패드와 밸룬(Balun)을 포함한 제작된 칩의 크기는 400 μm×450 μm이며, 측정용 요소들을 제외한 주요 칩의 크기는 150 μm×100 μm이다.
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Rieh, Jae Sung
공과대학 (전기전자공학부)
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