O2 / Ar 플라즈마를 이용한 구리호일 표면 개질에 관한 연구

Abstract

본 연구는 구리호일의 표면 특성 향상을 위한 연구로, O2/Ar 유도결합 플라즈마에서 O2 가스의 비율을 0∼100%까지 조절하여 사용하였다. 플라즈마 처리 후, 구리호일의 표면 분석을 위해 구리호일의 표면 거칠기, 표면 접촉각, 표면 에너지를 측정하였다. 그 결과로 표면 거칠기와 표면 에너지 모두 증가한 것을 확인하였다. 그리고 플라즈마 분석은 이중탐침법(DLP)과 광학적발광분광법(OES)을 통해 수행하였다. 이러한 결과들을 통해 구리호일의 플라즈마 표면 개질 메커니즘을 조사하였다.